簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果:共1筆資料 檢索策略: "電子工程系".dept (精準) and ckeyword.raw="離子束濺鍍沉積"


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    低電阻率摻銅氧化鈷p型導電薄膜之開發
    • /103/ 碩士
    • 研究生: 李俊融 指導教授: 趙良君
    • 本研究利用反應式離子束濺鍍法沉積氧化鈷與摻銅氧化鈷薄膜,改變氧氣/氬氧的流量比例(Opf = O2/(Ar+O2))及沉積溫度,探討製程參數對氧化鈷及摻銅氧化鈷之影響。研究結果顯示在室溫下所沉積之樣…
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    • 全文公開日期 2020/06/29 (校內網路)
    • 全文公開日期 本全文未授權公開 (校外網路)
    • 全文公開日期 本全文未授權公開 (國家圖書館:臺灣博碩士論文系統)
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